在各領(lǐng)域半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高制程、更小納米節(jié)點的進程中,材料的純凈度與穩(wěn)定性直接決定了產(chǎn)品的性能與良率。作為半導(dǎo)體材料表面處理、光刻膠顯影液配制及晶圓清洗等環(huán)節(jié)中不可或缺的關(guān)鍵化學(xué)品之一,?半導(dǎo)體級硫酸鋁(Aluminum Sulfate, Semiconductor Grade)?憑借其超高純度、精準(zhǔn)的化學(xué)性能,成為先進制程中清洗、蝕刻、拋光等環(huán)節(jié)的“隱形守護者”。
中國芯片制造正加速向高端化、自主化邁進。藍(lán)鼎科技作為國內(nèi)高端化工產(chǎn)品的領(lǐng)軍企業(yè),深耕鋁鹽行業(yè)研發(fā)生產(chǎn)十余載,曾經(jīng)研發(fā)并制定“電池級硫酸鋁”等產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),為超高純半導(dǎo)體級硫酸鋁打下夯實的基礎(chǔ),打破國外技術(shù)壟斷,助力中國“芯”突破封鎖,走向世界舞臺。
藍(lán)鼎科技始終以“技術(shù)立企”構(gòu)建出及“研發(fā)、生產(chǎn)、檢測”的全產(chǎn)業(yè)鏈能力
- 國家級實驗室:配備 設(shè)備進行“多次重結(jié)晶”“超臨界流體萃取”等工藝確保半導(dǎo)體級硫酸鋁產(chǎn)品純度達(dá)到≥99.9999%,金屬雜質(zhì)含量≤5ppb,顆粒度≤0.1μm,全面超越SEMI C12標(biāo)準(zhǔn)。
- 萬噸級智能生產(chǎn)線:采用全封閉超潔凈生產(chǎn)空間,實現(xiàn)生產(chǎn)過程中“零污染”“高潔凈”,年產(chǎn)量達(dá)到 噸
藍(lán)鼎半導(dǎo)體級硫酸鋁:精準(zhǔn)匹配先進制程需求?
從28nm成熟工藝到3nm FinFET、GAA架構(gòu),藍(lán)鼎產(chǎn)品以卓越性能賦能芯片制造全流程:
- ?晶圓清洗與表面活化?
通過定制化pH值與離子濃度配比,高效去除晶圓表面金屬殘留及有機物,同時形成致密鈍化層,降低界面缺陷率30%以上,為后續(xù)光刻、沉積工藝奠定完美基底。 - ?化學(xué)機械拋光(CMP)?
作為拋光液核心添加劑,精準(zhǔn)調(diào)控氧化鋁磨料的分散性與反應(yīng)活性,實現(xiàn)晶圓表面粗糙度≤0.2nm(Ra值),助力5nm以下制程的全局平坦化需求。 - ?薄膜沉積與蝕刻輔助?
在ALD(原子層沉積)工藝中,藍(lán)鼎高純硫酸鋁可穩(wěn)定提供鋁源離子,確保薄膜厚度均勻性誤差<±1%,顯著提升芯片良率與可靠性。
與藍(lán)鼎同行,共赴“芯”征程?
在5G、AI、自動駕駛技術(shù)驅(qū)動下,半導(dǎo)體材料市場迎來爆發(fā)式增長。藍(lán)鼎科技將持續(xù)加大研發(fā)投入,力爭2025年實現(xiàn)半導(dǎo)體級硫酸鋁市占率國內(nèi)前三的目標(biāo)。
選擇藍(lán)鼎,不僅是選擇一份產(chǎn)品,更是選擇一份助力中國芯崛起的責(zé)任與承諾!
?以中國純度,定義全球標(biāo)準(zhǔn)——藍(lán)鼎科技,讓世界看見中國材料的硬實力!
